Obiettivo di titanio farfugliare di elevata purezza 99,5% per il sistema di rivestimento di Pvd

Obiettivo di titanio 99,5% farfugliare, 99,95% D100x40mm, D65x6.35mm

La purezza è l'indice principale della prestazione del materiale di obiettivo, perché la purezza del materiale di obiettivo ha una grande influenza sulla prestazione del film.

Requisiti prestazionali principali del materiale di obiettivo:

La purezza è l'indice principale della prestazione del materiale di obiettivo, perché la purezza del materiale di obiettivo ha una grande influenza sulla prestazione del film. Tuttavia, nell'applicazione pratica, i requisiti della purezza dell'obiettivo non sono gli stessi. Per esempio, con lo sviluppo rapido dell'industria della microelettronica, la dimensione del chip di silicio è stata sviluppata da 6", 8" a 12", mentre la larghezza fissante è stata ridotta da 0.5um a 0.25um, a 0.18um o persino a 0.13um. Precedentemente, 99,995% della purezza dell'obiettivo possono soddisfare le richieste trattate di 0.35um IC, mentre la preparazione della linea 0.18um richiede 99,999% o persino 99,9999% della purezza dell'obiettivo.

Le impurità nel solido dell'obiettivo e nell'ossigeno e nel vapore acqueo nei pori sono le fonti principali di inquinamento. I materiali di obiettivo differenti hanno requisiti differenti del contenuto di impurità differente. Per esempio, gli obiettivi puri della lega di alluminio e dell'alluminio per l'industria a semiconduttore hanno requisiti differenti del contenuto alcalino-metallico e del contenuto dell'elemento radioattivo.

Per ridurre la porosità nel solido dell'obiettivo e per migliorare le proprietà dei film farfugliati, l'obiettivo è richiesto solitamente per avere un'alta densità. La densità dell'obiettivo non solo colpisce il tasso farfugliare, ma inoltre colpisce le proprietà elettriche ed ottiche del film. Più alta la densità dell'obiettivo è, migliore la prestazione del film è. Inoltre, aumentare la densità e la forza dell'obiettivo può fare meglio l'obiettivo resistere allo stress termico nel processo farfugliare. La densità è inoltre l'indice della prestazione chiave dell'obiettivo.

Generalmente, il materiale di obiettivo è struttura policristallina e la granulometria può provenire dal micrometro al millimetro. Per lo stesso genere di obiettivo, il tasso farfugliare dell'obiettivo con piccola granulometria è più veloce di quello dell'obiettivo con grande granulometria, mentre la distribuzione di spessore del film depositato dall'obiettivo con la piccola differenza di granulometria (distribuzione uniforme) è più uniforme.