Pezzi di ricambio del molibdeno & del tungsteno per gli strumenti di Ionenimplantation

Pezzi di ricambio del molibdeno & del tungsteno per gli strumenti di Ionenimplantation

I pezzi di ricambio del molibdeno & del tungsteno per gli strumenti di Ionenimplantation è un processo di vuoto nell'industria a semiconduttore per verniciare i wafer con gli ioni, che cambiano le proprietà elettriche del materiale del wafer, per esempio la conducibilità. Il processo è diviso ai seguenti punti: Creazione degli ioni in una fonte di ione, un'estrazione e una separazione di massa di ioni per l'impianto selettivo, un diverion del fascio, un'accelerazione e una focalizzazione del raggio ionico al wafer. Questa area di un iniettore per impianto dello ione è chiamata linea del fascio.

I materiali di rendimento elevato utilizzati per le parti nella linea del fascio sono tungsteno, molibdeno, Tantal e grafite. Inoltre gli isolatori di alta ceramica pura, per esempio BN sono utilizzati.

Fanmetal fornisce i materiali di consumo di alta qualità e le componenti della sostituzione per il beamline in Ion Implanters di AMAT, di Varian e di Axelis. Gli aggiornamenti dell'attrezzatura e le modifiche delle parti che conciliano i requisiti dei clienti dei miglioramenti trattati sono un servizio supplementare.

Disegno schematico del raggio ionico in un iniettore per impianto dello ione.

Pezzi di ricambio del molibdeno & del tungsteno per l'immagine degli strumenti di Ionenimplantation: